深圳市邦企創(chuàng)源科技有限公司
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更新時間：2025-01-09 14:08:32瀏覽次數(shù)：667次
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產(chǎn)品介紹
半自動晶圓烘焙熱板系統(tǒng)烤膠機,適用于半導(dǎo)體硅片/晶片/ITO導(dǎo)電玻璃/光學(xué)玻璃/生物薄膜/制版等工藝加熱,具有真空吸附,限位等功能,可以根據(jù)需要定制功能和不同尺寸;烘膠機,前熱板,一個可按需生產(chǎn),產(chǎn)品分別不同,單獨工作,效率高,溫度高,生產(chǎn)設(shè)備,區(qū)式,工藝,中烘和后烘,并具有分段式程控升溫,可訂制真空，N2充氮氣式吹掃，高溫500度，600℃,800℃熱板
產(chǎn)品簡介
ET-220型熱板是一款桌面型半自動烘焙系統(tǒng)，用于晶圓的單面烘烤，可用于預(yù)烘烤(Pre-bake)，前烘(soft bake)，底膠涂覆(Primer Vapor)和后烘烤(hardbake堅膜)工藝。
烤膠機主要有機箱、加熱部件和電控系統(tǒng)組成。機箱由箱體、罩殼和箱蓋組成。加熱的部件由加熱板、加熱元件及保溫層、隔熱層組成。
電控系統(tǒng)由控溫儀、繼電器、熱電偶、開關(guān)、指示燈、風(fēng)扇、插座等組成。控溫儀、電源開關(guān)、指示燈在面板上。風(fēng)扇在箱體的后壁上，其它電器元件在箱體的內(nèi)底板上
1.溫度高達 300°C
2.電子驅(qū)動升降pin
3.支撐pin材料為不銹鋼，采用 PEEK 材料 (250°C)
4.程序控制支撐pin的升降(不同停止的速度和步數(shù))
5.熱板通過真空固定晶圓
6.熱板蓋手動控制
7.集成排煙裝置
8. 通過設(shè)置receip自動進行加熱處理
1.襯底尺寸: 可達 Ø200 mm (Ø 8”) 或 200 x 200 mm (8 x 8 inch)
2.溫度: 可達 300°C, 步進1°C
3.溫度精度: < ±1°C@100°C
4.支撐pin: Ø50 mm (Ø2”) ,可達 Ø200 mm(Ø8”) 或 200 x 200mm (8 x 8 inch)
5.熱板材質(zhì): 硬質(zhì)陽極氧化鋁
6.加熱蓋材質(zhì): 不銹鋼
1.支撐pin材料
2.邊緣支撐pin
3.N2吹掃
4.HMDS 熱板系統(tǒng)(六甲基二硅胺底膠蒸汽涂覆)
5.600℃,800℃熱板
6.真空泵
(1) 接通電源，打開開關(guān)
(2) 通過控溫儀的上下箭頭設(shè)置所需烘烤溫度
(3) 加熱板溫度到設(shè)置溫度后，可以進入烘烤工作
(4) 烘烤元件或要加熱的東西放在加熱板上(烘烤時間由操作者控制掌握)
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