深圳市邦企創源科技有限公司
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智能型程控高溫烤膠機，烤膠臺，烘烤時間減少;重復性高;對薄膜的固化效果好;自動運行,光刻工藝及其相干技術是微電子機械系統(MEMS)加工工藝的重要構成部門。均膠以及烘焙是光刻工藝中不成缺少的一道兒工序，為增長膠層與硅片表面粘附能力，提高在接觸式暴光
產品介紹
智能型程控高溫烤膠機，烤膠臺，烘烤時間減少;重復性高;對薄膜的固化效果好;自動運行,光刻工藝及其相干技術是微電子機械系統(MEMS)加工工藝的重要構成部門。均膠以及烘焙是光刻工藝中不成缺少的一道兒工序，為增長膠層與硅片表面粘附能力，提高在接觸式暴光中膠層與掩模版接觸時的性能及不變膠層的感光靈敏度。高溫程控烤膠機是一種設計為程序控溫、準確計時和接近式加熱的實驗室設備，可實現智能化編程烤膠控制。
烤膠機升溫速度快，由PID數顯溫控表加熱控制，長壽命、高熱均勻性的發熱部件供熱，高硬度、航空7075鋁合金表面陽極氧化面板。
智能型烤膠機，程控式烤膠機，高溫烤膠臺用于于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝，制版的表面涂覆后，薄膜烘干，固化。熱板溫度穩定度高，重復性好。可在工礦企業、科研、教育等單位作生產、科研、教學之用。
1.硬質陽極氧化鋁面板，面板尺寸：220mm*220mm，適合于8"圓晶底物烤膠
2.溫度調節范圍：室溫至300℃，溫度分辨率：0.1℃
3.7寸全彩觸屏，高級PLC控制，控溫精度達到±0.2℃
4.帶頂升功能的接近烤膠模式，頂升高度范圍：0-30mm可控，電動頂針高度分辨率：0.1mm
5.頂針可使用于直徑或內切圓直徑大于40mm的圓形或方形底物
6.1.5KW鑄鋁高均勻性發熱部件，熱板表面溫度均勻
高溫烤膠臺面板
1.加熱尺寸：面板尺寸：220*220mm,適用于直徑200毫米(8"圓晶底物烤膠)圓片或200x 200毫米方片及以下尺寸產品;可定制
2.溫度范圍：RT～200、300/400/500°C/600度/800度;
3.溫度精度：0.1°C;
4.溫度均勻性：≤±1/1%℃;
5.電動頂針調節高度: 0～60mm可控，電動頂針高度分辨率：0.1mm,頂針可使用于直徑或內切圓直徑大于40mm的圓形或方形底物,帶頂升功能的接近烤膠模式
6.加熱臺表面：硬質陽極氧化鋁制成;
7.加熱臺頂蓋：304不銹鋼制成;
烤膠機設計圖
8.加熱臺外殼：;304不銹鋼
9.控制器單元：7寸全彩觸摸屏，高級PLC控制，實現在線速程控時間內自動升降,可以定時取片;
10.電壓：220V / 50HZ;
11.功率：1500W,鑄鋁高均勻性發熱部件，熱板表面溫度均勻
12.輔助功能： 內置真空泵， 自帶真空吸附功能和四組限位
13.外型尺寸：303(W)*446(D)*295(D)
技術參數相同，分體嵌入式設計：
1.分體的烤膠機，主機與控制盒分開，用電纜連接
2.可嵌入安裝在手套箱或工作臺面下，降低操作高度
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